最近笔者梳理了几家有代表性的半导体设备、材料中小厂商，这些公司大多从事比较细分的设备及配件、制造材料和封装材料，不断完善中国半导体产业生态。这些公司有些成立已久，有些是年贸易摩擦后成立的，很多已经获得资本的青睐，正在资本和市场助推下，一步步发展壮大。
果纳半导体：打破国外垄断，专注集成电路传输的新锐半导体设备供应商果纳半导体成立于年3月，专注于集成电路传输领域，主营业务为半导体传输设备模块及零部件，产品包括EFEEM、WTS、SORTER、LOADPORT、ROBOT和VALVE等，在关键零部件领域打破了国外企业的垄断，填补了国产零部件空白。
年9月23日，果纳半导体首台EFEM样机出货，发往国内知名半导体设备龙头公司。相关消息显示，公司不到半年就完成了首台EFEM样机的设计、组装、调试和交付，这种速度是相当快的。
资料来源：果纳半导体首台EFEM样机交付图片，公开资料整理，阿尔法经济研究
EFEM即半导体设备前端模块，是连接物料搬运系统和硅片处理系统的桥梁，确保晶圆能在高洁净环境下传输到工艺、检测模块，是半导体设备的重要配件。在该领域最具代表性的企业是日本RORZE株式会社，该公司也是中微公司等众多国内半导体设备企业的关键部件供应商。
RORZE在晶圆传输领域有EFEM和SORTER两类设备，其中EFEM设备通过安装新型清洁机器人和高速直线轨道轴实现高速传输，代表型号RSC面向12英寸晶圆传输，自身拥有3个端口，在RSC中将端口增加到4个，提升了晶圆传输效率。SORTER同样使用了安装新伺服的清洁机器人、对准器和线性轨道轴，实现了高通量分拣：
资料来源：RORZE株式会社EFEM/SORTER设备，公司
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